【锚思科技讯】今天的重磅消息除了微软687亿美元收购动视暴雪之外，还有英特尔花3亿美元定下了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻机。
TWINSCAN EXE:5200光刻机是ASML的高NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量超每小时220片晶圆（wph）。从路线图来看，EXE:5200预计最快2024年底投入使用，2025年开始大规模应用于先进芯片的生产。
0.55NA的分辨率从0.33NA光刻机当然13nm升级到8nm，可以更快更好地曝光更复杂的集成电路图案，突破0.33NA单次构图32nm到30nm间距的极限。
第一代高NA光刻机EXE:5000会率先用于3nm节点，至于EXE:5200，按照Intel的制程路线图，2025年至少是20A或者18A（A代表埃米），也就是2nm和1.8nm或者20埃米和18埃米。
ASML发言人曾对媒体透露，更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1.7倍、同时密度增加2.9倍。未来比3nm更先进的工艺，将极度依赖高NA EUV光刻机。
Intel在制造工艺方面稍逊台积电一筹，但它并没有放弃自己制造芯片，这次斥巨资购买最先进的光刻机足以看到其决心。